等离子清洗机清洗原理是利用气体在特定的交变电场激荡下变成等离子体，等离子体在偏压作用下被加速产生动能，

移动粒子轰击待清洗器件的表面，使污染物脱离表面，同时和污染物反应生成易挥发性的化合物，

使表面污染物变成附着力低的粒子和气态物质。

清洁过程可以通过与自由基氧、氢、氟或氯物质的化学反应或通过重离子(例如氩离子)的高能离子溅射来实现。

等离子清洗机是通过等离子放电过程产生化学活性自由基和高能离子的设备。等离子体可以通过射频、微波或直流辉光放电产生